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中華人民共和國國家標準行業(yè)超純水標準
中國電子行業(yè)超純水國家標準 (GB/T11446.1-1997 )
指 標 名 稱(chēng)
一 級 水(EW-1)
二 級 水(EW-2)
電阻率MΩ.CM. (25℃)
18(95‰時(shí)間)不低于17
15(95‰時(shí)間)不低于13
硅 ≤μg/L
2
10
微粒數。1μm
0.1
5
細菌個(gè)數 ≤個(gè)/ml
0.01
銅 ≤μg/L
0.2
1
鋅 ≤μg/L
鎳 ≤μg/L
鈉 ≤μg/L
0.5
鉀 ≤μg/L
氯 ≤μg/L
硝酸根 ≤μg/L
磷酸根 ≤μg/L
硫酸根 ≤μg/L
總有機碳 ≤μg/L
20
100
中國國家電子級超純水GB/TII446.1-1997標準
指標\級別
EW-Ⅰ
EW-Ⅱ
EW-Ⅲ
EW-Ⅳ
電阻率 MΩ,cm(25℃)
18以上,(95%時(shí)間)不低于17
15,(95%時(shí)間)不低于13
12.0
全硅,最大值,μg/L
50
1000
>1μm微粒數,最大值,個(gè)/mL
500
細菌個(gè)數,最大值,個(gè)/mL
銅,最大值,μg/L
鋅,最大值,μg/L
鎳,最大值,μg/L
鈉,最大值,μg/L
鉀,最大值,μg/L
氯,最大值,μg/L
硝酸根,最大值,μg/L
磷酸根,最大值,μg/L
硫酸根,最大值,μg/L
總有機酸,最大值,μg/L
200
中國實(shí)驗室用水國家標準 實(shí)驗用三個(gè)等級凈化水的技術(shù)要求(GB6682-1992)
一級水:基本上不含有溶解或膠態(tài)離子雜質(zhì)及有機物。它可用二級水經(jīng)進(jìn)一步處理而制得。 二級水:可含有微量的無(wú)機、有機或膠態(tài)雜質(zhì)。 三級水:適用一般實(shí)驗室實(shí)驗工作。
一 級
二 級
三 級
pH值范圍(25oC )
—
5.0-7.5
電導率 (25oC )(μs/cm) ≤
1.0
5.0
可氧化物的限度試驗
符合
吸光度(254nm,1cm 光程) ≤
0.001
二氧化硅(mg/L) ≤
0.02
0.05
中國實(shí)驗室用水國家標準 實(shí)驗用三個(gè)等級凈化水的技術(shù)要求(GB6682-2008) 純水水質(zhì)按照GB6682-2008水標準進(jìn)行分類(lèi),可以分為以下三類(lèi):(1)三級水標準,電阻率0.2 MΩ.cm @ 25℃;(2)二級水標準,電阻率≥1MΩ.cm @25℃; (3)一級水標準,電阻率≥18 .25MΩ.cm@25℃。
指標
一級
二級
三級
pH值范圍(25℃)
--
電導率(25℃),mS/m. ≤
0.10
0.50
可氧化物質(zhì)(以0計),mg/L <
0.08
0.4
吸光度(254nm,1cm光程) ≤
蒸發(fā)殘渣(105°±2℃),mg/L ≤
2.0
可溶性硅(以SiO2計)mg/L <